目前大多數電子企業安裝的都是普通的廢氣處理設備，例如噴淋塔、光氧催化設備等單一的環保設備。它們的廢氣處理效率低（凈化率只有30%左右），還有耗能大，占地面積大以及后期維護麻煩的缺點 。催化燃燒設備根據吸附（效率高）和催化燃燒（節能）兩個基本原理設計，采用雙氣路連續工作，一個催化燃燒室，兩個吸附床交替使用。先將有機廢氣用活性炭吸附，當快達到飽和時停止吸附，然后用熱氣流將有機物從活性炭上脫附下來使活性炭再生；脫附下來的有機物已被濃縮（濃度較原來提高幾十倍）并送往催化燃燒室催化燃燒成二氧化碳及水蒸氣排出。當有機廢氣的濃度達到2000PPm以上時，有機廢氣在催化床可維持自燃，不用外加熱。燃燒后的尾氣一部分排入大氣，大部分被送往吸附床，用于活性炭再生。這樣可滿足燃燒和吸附所需的熱能，達到節能的目的。再生后的可進入下次吸附；在脫附時，凈化操作可用另一個吸附床進行，既適合于連續操作，也適合于間斷操作。

系統組成部分

活性炭吸附脫附再生裝置由兩部組成，一是吸附，二是脫附再生。

1、吸附過程

活性炭吸附法利用吸附劑的吸附功能使有機廢氣物質由氣相轉移至固相，適用于處理低濃度，高凈化要求的有機廢氣。凈化效率很高，可以處理多組分有機廢氣，吸附劑費用昂貴，要求待處理的有機廢氣有較低的溫度和含塵量。

廢氣經過干式濾器后，進入吸附箱頂部，經過箱內活性炭吸附后，除去有害成分，符合排放標準的凈化氣體從箱底排出，經風機排放到室外。

2、脫附再生過程

活性炭使用一段時間吸附了一定量的溶劑后，使其再生。再生時用蒸汽自塔底部噴入，把活性炭中的吸附劑的溶劑蒸出。 在經過冷凝器冷凝液體，進入分離筒，分離回收有機溶劑，殘液進入曝氣筒，經過曝氣后排出。

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